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Microscopia elettronica e microanalisi elementare

Abstract

IMAGING IN MICROSCOPIA ELETTRONICA A SCANSIONE

Il laboratorio fornisce i seguenti servizi:

Analisi morfologica mediante microscopia a scansione elettronica di campioni conduttivi o metallizzati e acquisizione di segnali provenienti da detector Everhart-Thornley per elettroni secondari e detector a stato solido a 4 quadranti per la rilevazione degli elettroni retrodiffusi.

  • dimensione massima dei campioni: 5 x 5 x 5 cm3
  • campioni compatibili con la condizione di alto vuoto (non contenenti liquidi o sostanze volatili)
  • tensioni di lavoro: da 2 kV a 30 kV
  • risoluzione: 3 nm
  • il laboratorio dispone di sputter coater con la possibilità di deposizione di un coating di oro su campioni non conduttivi

Analisi in trasmissione in modalità Bright-field e Dark-field mediante microscopia a scansione elettronica in trasmissione e detector STEM (2 settori)

  • campioni conduttivi ed elettronicamente trasparenti (spessore < 200 nm)
  • campioni preparati su supporto con standard TEM avente diametro 3 mm
  • tensioni di lavoro da 10kV a 30kV
  • risoluzione 1.2 nm

Analisi in modalità basso vuoto (Low Vacuum SEM, LVSEM) e in modalità ambientale (Environmental SEM, ESEM) mediante microscopia elettronica a scansione

  • campioni biologici contenenti acqua o miscele acquose contenute in membrane cellulari
  • campioni isolanti o semi-isolanti
  • dimensione massima dei campioni 5 x 5 x 5 cm3
  • risoluzione: 6 nm (LVSEM) e 10 nm (ESEM)

Punto di contatto: mailto: l.boarino@inrim.it

MICROANALISI ELEMENTARE SEM-EDS

Il microscopio SEM InspectF, con sorgente ad emissione di campo, è equipaggiato con un rivelatore a stato solido per discriminare l'energia dei raggi X caratteristici emessi dal campione (spettrometria a dispersione di energia, EDS). Ciò consente la rivelazione di tutti gli elementi con numero atomico (Z) superiore a 4, permettendo di ottenere:

  • analisi qualitative della composizione elementare di un campione allo stato solido, sia su vasta area che con fascio localizzato in un punto di interesse (risoluzione laterale e profondità di campionamento: qualche micrometro, a seconda del materiale)
  • analisi semiquantitative della composizione elementare del campione (per elementi con Z superiore a 11) mediante tecnica standardless
  • mappe di distribuzione degli elementi rilevabili nel campione
  • profili di linea della concentrazione di elementi di interesse lungo una linea arbitrariamente scelta sulla morfologia del campione
  • analisi puntuali e profili di linea su sezioni trasversali di coating con spessori da 50 nm a 10 μm, ottenute tramite tecnica del fascio ionico focalizzato.

Punto di contatto: mailto: e.olivetti@inrim.it, mailto: f.celegato@inrim.it

Tipo di servizio
Microscopia elettronica e microanalisi elementare