Laboratorio Q013 - Semiconduttori
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Laboratorio Q013 wide

Il laboratorio Q013 è un ambiente in atmosfera controllata (ISO 7) di circa 100 mq che include un Molecolar Beam Epitaxy con AFM in ultra alto vuoto, uno sputtering per materiali magnetici, due forni Rapid Thermal Annealing, due evaporatori termici, un reattore PECVD, un Plasma etcher, una cappa chimica per la pulizia dei substrati e la produzione di nanostrutture di silicio, e di un ellissometro Woollam.

Contatti

Giampiero Amato
E-mail
g.amato@inrim.it