Laboratorio Q09 - Deposizione e RIE
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Il laboratorio Q09 è dedicato alle tecnologie dei materiali e dispositivi superconduttivi quantistici quali il Voltage Standard, rivelatori superconduttivi, mixer e risonatori. Include uno sputtering DC e uno sputtering Leybold in RF, un evaporatore a cannone elettronico e un Deep Reactive Ion Etching Oxford PlasmaLab 100 Cobra.
Il laboratorio è a controllo particellare classe 10000 (ISO 7).