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Laboratorio Q015 - Nanofacility Piemonte
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Laboratorio Q015 Nanofacility Piemonte

Il laboratorio Nanofacility Piemonte è dedicato alla nanofabbricazione mediante fasci ionici ed elettronici. È stato allestito nel 2009 grazie al contributo finanziario della Compagnia di San Paolo e include due microscopi elettronici:

1) un Dual Beam ESEM FEG Quanta 3D™ equipaggiato con fascio ionico a ioni Ga+, quattro nanomanipolatori Kleindiek Nanoteknik, due Gas Injector System, uno al Pt e l'altro al SiOx e NanoPattern Generator System della J.G. Nabity per la nanolitografia.

2) un Inspect F™ FEG equipaggiato con microanalisi EDAX e NanoPattern Generator System della J.G. Nabity per la nanolitografia.

Entrambe le apparecchiature sono della FEI Thermofisher.

Contatti

Luca Boarino
E-mail
l.boarino@inrim.it