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Laboratorio Q08 - Litografia Ottica
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Q08 Cleanroom Litografia Ottica wide

Il laboratorio di litografia ottica è un ambiente a controllo particellare in classe 100 (ISO 5) dove si svolgono tutti i processi di litografia ottica fino alla risoluzione di 800 nm.

Include cappe chimiche per lo spinning e lo sviluppo dei resist, due mask aligner, un Carl Süss e un Quintel con allineamento fronte/retro e una Laserwriter Heidelberg con toni di grigio. 

Contatti

Natascia De Leo
E-mail
n.deleo@inrim.it