Laboratorio Q08 - Litografia Ottica
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Il laboratorio di litografia ottica è un ambiente a controllo particellare in classe 100 (ISO 5) dove si svolgono tutti i processi di litografia ottica fino alla risoluzione di 800 nm.
Include cappe chimiche per lo spinning e lo sviluppo dei resist, due mask aligner, un Carl Süss e un Quintel con allineamento fronte/retro e una Laserwriter Heidelberg con toni di grigio.