
La macchina di misura di Moore in uso presso l'INRiM è un comparatore 1D dotato di interferometri laser per l'asse X e di encoder lineari per la misura dello spostamento degli gli assi Y e Z. Il sistema di misura è costituito da un set-up interferometrico basato su un interferometro differenziale a doppio passaggio con specchi piani. I due specchi di riferimento dell’interferometro sono fissati allo stadio Z che muove verticalmente la sonda meccanica, compensando in questo modo eventuali errori di misura dovuti a variazioni termiche o deformazioni meccaniche. Grazie alla struttura simmetrica dei percorsi del fascio di misura e di riferimento, la condizione di Abbe è soddisfatta sia verticalmente che orizzontalmente quando la zona di misura si trova in corrispondenza della posizione mediana dei fasci dell’interferometro.
Nella configurazione attuale, la stazione di misura può ospitare campioni di diametro con un ingombro fino a 200 mm di dimensione laterale e circa 100 mm di altezza e manufatti lineari fino a 420 mm di lunghezza.