NANOLITOGRAFIA
Il microscopio Quanta 3D della Nanofacility Piemonte è dotato di doppia colonna elettronica e ionica, controllate entrambe tramite un NanoPattern Generator per la litografia a fascio elettronico e ionico, di una serie di nanomanipolatori per la manipolazione e la caratterizzazione elettrica in-situ e di un Gas Injector System per la deposizione di nano e microstrutture in platino e in ossido di silicio. Il sistema nel suo complesso rende possibile realizzare svariate lavorazioni, tra cui:
- nanolitografia elettronica (EBL) con allineamento a strutture preesistenti (risoluzione 30 nm)
- nanolitografia da fascio ionico focalizzato (FIB) (risoluzione 30 nm)
- contattatura elettrica di nano/micro oggetti mediante deposizione di platino o ossido di silicio assistita da fascio elettronico/ionico focalizzato
NANOLAVORAZIONI FIB
Il fascio ionico installato nel microscopio Quanta 3D della Nanofacility Piemonte, attraverso una serie di nanomanipolatori e due Gas Injector System (Pt e SiO2), consente le seguenti lavorazioni ed analisi:
- preparazione di lamelle TEM (tecnica standard H-bar mediante lift-out)
- imaging ionico di campioni policristallini
- misure elettriche in-situ di materiali e dispositivi
- deposizione di una hard-mask di platino
Punti di contatto: mailto:a.angelini@inrim.it, mailto:m.fretto@inrim.it