Nanolitografia e nanolavorazione FIB

Nanolitografia

Il microscopio Quanta 3D della Nanofacility Piemonte è dotato di doppia colonna elettronica e ionica, controllate entrambe tramite un NanoPattern Generator per la litografia a fascio elettronico e ionico, di una serie di nanomanipolatori per la manipolazione e la caratterizzazione elettrica in-situ e di un Gas Injector System per la deposizione di nano e microstrutture in platino. Il sistema nel suo complesso rende possibile realizzare svariate lavorazioni, tra cui:

  • nanolitografia elettronica (EBL) con allineamento a strutture preesistenti (risoluzione 30 nm)
  • nanolitografia da fascio ionico focalizzato (FIB) (risoluzione 50 nm)
  • contattatura elettrica di nano/micro oggetti mediante deposizione di platino assistita da fascio elettronico/ionico focalizzato
    Nanolavorazioni FIB

    Il fascio ionico installato nel microscopio Quanta 3D della Nanofacility Piemonte, attraverso una serie di nanomanipolatori ed un Gas Injector System (Pt), consente le seguenti lavorazioni ed analisi:

    • preparazione di lamelle TEM (tecnica standard H-bar mediante lift-out)
    • imaging ionico di campioni policristallini
    • misure elettriche in-situ di materiali e dispositivi
    • deposizione di una hard-mask di platino
    Ultima modifica: 22/05/2017 - 15:48